Bei der Fertigung von Präzisionsbauteilen, wie beispielsweise feinoptischen Elementen, treten mitunter Kontaminationen der Oberflächen auf.
Diese können zum einen durch Reinigungsprozesse (z.B. Ultraschallbäder, organische Lösungsmittel) entstehen oder zum anderen schlicht lagerungsbedingt sein. Diese Kontaminationen können einen starken Einfluss auf die Funktionalität der Bauteile (u.a. Degradierung optischer Eigenschaften, Korrosionsanfälligkeit, Verklebbarkeit, Beschichtungsgüte) ausüben.
Die hier typischerweise auftretenden Residuen werden qualifiziert und passend dazu ein geeignetes, plasmabasiertes Reinigungsverfahren entwickelt. In verschiedenen Anwendungsszenarien konnte gezeigt werden, dass sich Plasmen zur Feinstreinigung von Oberflächen sehr gut eignen und die damit einhergehende Oberflächenaktivierung sowohl eine Steigerung der laserinduzierten Zerstörschwelle als auch eine verbesserte Haftfestigkeit von Kitten ermöglicht.
Publikationen:
- R. Köhler, C. Gerhard: XPS analysis of metallic trace contaminations on fused silica surfaces induced by classical optics manufacturing, Optical Materials Express 11 (2021) 11, 3844-3853
- R. Köhler, D. Hellrung, D. Tasche, C. Gerhard: Quantification of carbonic contamination of fused silica surfaces at different stages of classical optics manufacturing, Materials 14 (2021) 7, 1620 (7pp)
- C. Gerhard, M. Stappenbeck: Impact of the polishing suspension concentration on laser damage of classically-manufactured and plasma post-processed zinc crown glass surfaces, Applied Sciences 8 (2018) 9, 1556 (15pp)
